上海合晶的半导体硅外延片之所以受到国内外客户的广泛认可、市场份额全球领先，主要是因为产品的一体化生产，同时掌握晶体成长、硅片成型与外延生长三大工艺技术，相辅相成，互相补强，以达到外延最高质量。抛光片的技术对本公司的竞争力影响甚巨。

外延是通过化学气相沉积的方式在抛光片上生长一层或多层，且在掺杂类型、电阻率、厚度和晶格结构等产品参数都符合特定器件要求的新硅单晶层，具极佳的均匀性及极低的缺陷密度。