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全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会技术标准优秀奖 硅片表面金属含量测定、电感耦合等离子体质谱法 |
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全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会技术标准优秀奖 硅材料中氧含量测试、惰性气体熔融红外法 |
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上海有色金属行业协会五届理事会理事单位 |
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全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会技术标准优秀奖 硅片表面金属含量测定、电感耦合等离子体质谱法 |
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全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会技术标准优秀奖 硅材料中氧含量测试、惰性气体熔融红外法 |
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上海有色金属行业协会五届理事会理事单位 |
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